Запитване от клиент на Aisa
Тази сутрин получихме оферта чрез уебсайта на нашата компания, клиентът идва от азиатския пазар и се интересува от нашия продукт по отношение на мишени за радиочестотно (RF) разпръскване на молибден с висока чистота.
Продуктовата спецификация на клиента е метална мишена от молибден с диаметър 50,8 mm (2 инча) и дебелина 5 mm с чистота 99,95% (3N5).
Тази молибденова мишена за разпръскване, която поиска, е плоска кръгла молибденова мишена, това е най-често срещаната форма на молибденови кръгли мишени.
И неговата заявка за плоскост беше плоскост По-малка или равна на 0,05 mm, и също така се нуждае от повърхностна гладка работа, подходяща за RF магнетронно разпръскване; и без пукнатини, пори на повърхността или окисляване според заявката.
Какви целеви продукти от чист молибден можем да предложим?
• Чистота: 3N5 (99,95% чистота) - 4N (99,99% чистота)
- Mo1: По-голямо или равно на 99,95% Mo (3N5), основно използвано за индустрията, като дисплей / фотоволтаици / общо покритие
- Mo2: По-голямо или равно на 99,9% Mo (3N), основна употреба за-рентабилно, за общо покритие/декоративни филми
- Mo3: По-голямо или равно на 99,5% Mo (2N5), широко използван за ниско-ценови / изследователски приложения
- Висока чистота / ултра висока чистота (4N молибден: 99,99%), използва се основно за полупроводници / OLED / филми с висока-прецизност
Основни физически свойства (най-критичните)
• Плътност: 10,2 g/cm³ (теоретична), Малко пори, не е лесно да се получи „прахообразно пръскане“ и необичаен разряд (дъга)
• Точка на топене: 2620 градуса, изключително стабилна термично; и не се деформира лесно по време на разпръскване със силна адхезия.
• Топлопроводимост: 138–142 W/(m·K), бързо разсейване на топлината, бързо и добро за високо-мощно разпръскване
• Коефициент на термично разширение: ~4,9×10⁻⁶ / градус, много нисък и може да доведе до минимален термичен шок и стабилност на размерите
• Съпротивление: ~5,2 μΩ·cm, много добра електрическа проводимост и стабилна дъгова дъга
• Якост на опън ~540 MPa
. Твърдост по Викерс ~250 HV, с определени предимства на процеса на пластичност и тънък филм
• Целеви зърна 50–100 μm, осигуряващи равномерна ерозия при разпръскване и минимално отделяне на частици
Нормалният толеранс на размера за нашия продукт варира според различните диаметри, както следва
| Диаметър | Дебелина |
| φ25.4(1") | 2/3 |
| φ50.8(2") | 3/5 |
| φ76.2(3") | 3/4/5 |
| φ101.6 | 4/5/6 |
| φ150 | 5/6/8 |
| φ200 | 6/8/10 |
Моля, обърнете внимание: φ300 - дебелина 8/10/12 mm или персонализирана.
Допустими отклонения на размерите (GB/T 14592-2014 + индустриален стандарт)
| Диапазон на диаметъра | Допустимо отклонение на диаметъра (mm) |
| φ10-30 | ±0.10 |
| φ30-50 | ±0.14 |
| φ50-80 | ±0.16 |
| φ80-300 | ±0.20 |
Please note : >φ300: ±0.30 (по договаряне)
Допустими отклонения на формата и позицията (важно, критично, засягащо равномерността на разпръскване)
•Плоскост на молибденов диск: По-малко или равно на 0,03 mm/100 mm (High-End); По-малко или равно на 0,1 mm/100 mm (стандартно)
• Закръгленост: По-малко или равно на 0,05 mm
• Успоредност: По-малко или равно на 0,05 mm
Грапавост на повърхността от чист молибден
• Стандарт: Ra По-малко или равно на 0,8 μm
• High-End: Ra По-малко или равно на 0,4 μm (Изисквания за полупроводници/висока еднородност)
ЧЗВ
Освен целта за разпръскване на молибден, която можете да предоставите, други материали могат да направят?
Да, имаме волфрам, молибден, титан, тантал, ниобий, цирконий, никел и т.н. цветни метали.
