Колко жизненоважно емолибденови пръти за полупроводниковата индустриястабилност на размерите?
В цеховете за растеж на монокристален силиций или сапфир процесът на изтегляне на кристали често отнема десетки или дори стотици часове и температурното поле трябва да бъде прецизно контролирано над 1400 градуса. След като компонентът на термичното поле има деформация дори от 0,5 mm, диаметърът на кристала може да се колебае, плътността на дислокацията може да се увеличи и степента на провлачване ще бъде директно намалена. Най-голямото главоболие за много инженери не е внезапното разрушаване, а "невидимото" пълзене и натрупване на топлина.
Сред тях молибденовите пръти се използват като основни структурни материали на опорни пръти за термично поле, зародишни кристални скоби или нагревателни компоненти и тяхната стабилност на размерите при ниска-топлинна и висока-температура се превърна в решаващ фактор. Самият термичен коефициент на молибден е много нисък, но производителността на молибденови пръти с различна чистота и технология на обработка варира значително при дългосрочна-висока температура и вакуум. Обикновените синтеровани молибденови пръти са склонни към микро-удължаване, причинено от растеж на зърното след многократни термични цикли, докато молибденови пръти с висока-чистота, които са претърпели много-коване и високо-температурно отгряване, имат по-равномерна ориентация на зърната и значително подобрена устойчивост на пълзене. Кумулативната деформация се контролира в много малък диапазон.
Използвахме фабрика, която произвеждаше 6-инчови пръти от сапфирен кристал. В първите дни са използвани конвенционални молибденови опорни пръти. Термичното поле трябваше да се калибрира на всеки няколко изтеглени кристала и степента на добив се движеше около 65%. По-късно, след замяната на молибденовия прът от полупроводников клас с нашата оптимизирана зърнеста структура, времето за непрекъснато изтегляне в една пещ беше удължено, флуктуацията на топлинното поле беше значително намалена, консистенцията на диаметъра на готовия кристал беше подобрена и общият добив беше увеличен с близо 15 процентни пункта. По-малкото смени на компоненти и по-малкото регулиране на параметрите носят не само намаляване на разходите, но и стабилност на производствения ритъм.
Защо тази точка е толкова критична? Тъй като растежът на полупроводникови кристали е типичен процес на "бавна работа и фина работа", всеки малък дрейф на размера ще бъде усилен чрез температурния градиент и накрая отразен в кристални дефекти. Високо{1}}качествените молибденови пръти минимизират риска от това отклонение, позволявайки на инженерите-технологи да се съсредоточат по-уверено върху скоростта и контрола на замятане, вместо да се тревожат за структурна деформация.
В настоящия бърз етап на големи-размери на кристали и трето-поколение полупроводникови материали, изискванията за стабилност на оборудването ще стават все по-високи и по-високи. Молибденова пръчка без разлика на повърхността може всъщност да определи колко квалифицирани вафли се произвеждат всеки месец.
Ако извършвате поддръжка на оборудване за растеж на единични{0}}кристали, надграждане на термично поле или избор на нов проект, моля, кажете ми за стабилността на термичното поле или проблемите с кристалите, които срещате в момента. Можем да комбинираме специфичната температурна крива и структурата на оборудването, за да дадем по-целенасочен материал на молибденовия прът и предложения за обработка, за да помогнем за пълен контрол на „невидимите“ скрити опасности от деформация.
Стабилизирайте термичното поле и кристалът естествено ще расте добре-това е фокусът на нашата инвестиция в полупроводникови молибденови пръти.
Ава
