Защо добивът на полупроводниково покритие е ограничен от невидимо замърсяване? Плаката от молибден Mo2 с ултра{0}}висока чистота е ключовото решение.

Молибденовата плоча Mo2 решава този проблем от корена. Неговият химичен състав, Mo е по-голям или равен на 99. 95%, съдържанието на примеси е строго контролирано на изключително ниско ниво, а налягането на парите под вакуум е почти незначително. Тоест, дори ако температурата на пещта е измита над 1800 градуса, това няма да "тайно отрови" като други материали, като се гарантира, че цялата кухина на покритието е чиста до лабораторно ниво.

Да вземем за пример клиент, който обслужваме и който произвежда фотоволтаични тънки филми и интегрални схеми. В миналото те използваха обикновени термо{1}}устойчиви плочи като субстрати за мишени за разпрашаване и 8-12% от филмовия слой във всяка партида се губеше поради замърсяване с частици. След замяната му с нашата молибденова плоча Mo2, след работа в продължение на три последователни месеца, плътността на замърсяващите частици директно спадна до 1/5 от оригинала и степента на добив стабилно се увеличи с 11%. Още по-преувеличено е, че степента на използване на мишената също е висока, тъй като самият субстрат не отделя газ, процесът на разпръскване е по-стабилен и времето за еднократно нанасяне на покритие може да бъде съкратено със 7%. След една година разходите, спестени само от бракувани листове, далеч надхвърлят инвестицията в самите молибденови плочи.

Защо високата чистота води до такава голяма празнина? Полупроводниковите покрития имат изключително високи изисквания за атомна чистота и всякакви примеси от порядъка на 10 √ могат да причинят късо съединение, изтичане или влошаване на оптичните характеристики. Mo2 молибденовата плоча е не само чиста, но също така има изключително ниско налягане на парите при висока температура. С нашия контролируем толеранс на дебелина (от ± 0,05 mm) и плоскост (По-малко или равно на 0,5 mm/m), след обработка в компоненти на йонен източник или целеви субстрати, точността на инсталиране е висока, топлинното поле е равномерно и оборудването едва ли трябва да спира, за да почисти кухината.

Разбира се, високата чистота е само една от "убийствените характеристики" на Mo2 молибденовите плочи в областта на полупроводниците. Точката му на топене е 2623 градуса и все още може да има висока якост при 2000 градуса, а термичният му коефициент е толкова нисък, колкото 5 × 10 → →/ градус, така че структурните части в горещата зона няма да се деформират дълго време. Според обратната връзка от много производители на оборудване, след смяната на молибденовата плоча Mo2, цикълът на поддръжка на пещта е удължен от първоначалните 3 месеца на 8-10 месеца, а скоростта на работа директно се е увеличила до по-високо ниво.

Mo2 молибденови плочи с дебелина от 0,5 mm до 50 mm в нашия склад се съхраняват целогодишно, а повърхността може да бъде студено{3}}валцована светла (подходяща за прецизна обработка) или горещо{4}}черна валцувана (по-добра устойчивост на окисление). Минималната поръчка е само 10 кг. Вземете модела и се върнете, за да го инсталирате за тестване. След като включите една или две пещи, ще разберете разликата. Поддържат се диаметър, толеранс, размер и дори персонализирана обработка според чертежи и OEM OEM не е проблем.

Ако все още сте обезпокоени от старите проблеми на невидимото замърсяване на полупроводниковото покритие, колебанията в производителността или поддръжката на оборудването, можете също така да насочите вниманието си към „чистотата на материала“, което е най-лесно пренебрегваната, но най-смъртоносната точка. Молибденовата плоча Mo2 не просто се заменя с плоча, а директно повишава стабилността на целия процес на филмиране до по-високо ниво.

Нуждаете се от нас, за да персонализираме молибденовия субстрат Mo2 според чертежа на оборудването ви за покритие? Или първо да изпратите проби от 10 kg, за да ги проверите на място? Чувствайте се свободни да се свържете с нас. Бърза доставка на малки партиди, първо тествайте и след това купувайте, нулев риск. Фабриките за полупроводниково оборудване, които наистина са го използвали, разбират, че в-производството на филми от висок клас, изборът на правилната молибденова плоча с „нулево-замърсяване“ често е последната стъпка за пълно стабилизиране на добива и печалбата.